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注入離子與靶內(nèi)的自由電子和束縛電子碰撞，產(chǎn)生電子空穴對。注入離子方向基本不變。
在離子注入中，注入離子與靶原子核碰撞，將能量傳給靶核，離子發(fā)生偏轉(zhuǎn)，靶核產(chǎn)生位移。
