名詞解釋

APCVD（常壓CVD）

答案：

氣相淀積在1個大氣壓下進行。
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名詞解釋

化學氣相淀積
答案：

一種或數(shù)種物質(zhì)的氣體，以某種方式激活后，在襯底發(fā)生化學反應，并淀積出所需固體薄膜的生長技術。
名詞解釋

濺射
答案：

利用帶有電荷的離子在電場中加速后具有一定動能的特點，將離子引向欲被濺射的靶電極。
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