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相比于立式開口體系,應用臥式開口體系制備的薄膜均勻性更好。
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判斷題
相比于常壓化學氣相沉積,低壓化學氣相沉積成膜速率更快。
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單項選擇題
以下哪個化學氣相沉積合成方法要求雙溫區(qū)?()
A.氧化還原反應
B.化學合成反應
C.熱分解反應
D.化學輸運反應
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