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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】為什么新的工藝中要用銅布線取代鋁布線。
答案：
長(zhǎng)時(shí)間較的電流流過(guò)鋁條，會(huì)產(chǎn)生鋁的電遷移的現(xiàn)象，結(jié)果是連線的一端生晶須，另一端則產(chǎn)生空洞，嚴(yán)重時(shí)甚至?xí)嗔选?/span>
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】為什么基區(qū)薄層電阻需要修正。
答案：
基區(qū)薄層電阻擴(kuò)散完成后，還有多道高溫處理工序，所以雜質(zhì)會(huì)進(jìn)一步往里邊推，同時(shí)表面的硅會(huì)進(jìn)一步氧化。形成管子后，實(shí)際電阻比...
