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【簡答題】接觸孔和通孔的作用是什么?它們是如何形成的?什么是鎢塞。試說明其主要作用。
答案:
接觸孔的作用:在金屬和非金屬導體間提供電學連接;
形成:
1)鈦的淀積
2)退火
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問答題
【簡答題】請說明在形成晶體管的有源區(qū)摻雜過程中需要進行哪些保護?分別用什么材料作為保護層?
答案:
第一次:有源區(qū)的輕摻雜漏注入(LDD)時,用光刻膠保護不需注入的其他區(qū)域;
第二次:在對有源區(qū)進行更大劑量的注...
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問答題
【簡答題】列出簡化的雙阱CMOS工藝流程中的主要步驟,并說明該流程的兩個主要特點。
答案:
步驟:
阱區(qū)離子注入;
定義有源區(qū)刻蝕及在絕緣溝槽中填充氧化物;
淀積及形成多晶硅層圖形;...
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