問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】舉例說(shuō)明什么是同型摻雜和反型摻雜及各自的目的。

答案： 同型摻雜：所摻雜質(zhì)與晶圓中原有雜質(zhì)類型相同。
目的：提高限定區(qū)域中的雜質(zhì)原子的濃度。
反型摻雜：摻雜...
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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】試說(shuō)明半導(dǎo)體制造中擴(kuò)散工藝的主要目的。列出并解釋實(shí)際擴(kuò)散工藝的主要步驟，并說(shuō)明個(gè)步驟的主要作用和工藝溫度。
答案： 在晶圓表面產(chǎn)生特定數(shù)量的摻雜原子；
在晶圓表面下的特定位置處形成pn結(jié)；
在晶圓表面層形成特定的摻雜...
問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】明兩步擴(kuò)散法的基本思想，及其每一步工藝的主要特點(diǎn)和目的。
答案： 第一步：恒定表面濃度的擴(kuò)散（預(yù)沉積擴(kuò)散Pre-deposition）；
目的：控制摻入的雜質(zhì)總量；
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