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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】闡述銅金屬化面臨的三大問(wèn)題，如何解決這些問(wèn)題？
答案：
銅金屬化面臨的三大問(wèn)題：
①擴(kuò)散到氧化區(qū)和有源區(qū)；
②刻蝕困難（干法刻蝕難以形成揮發(fā)性物質(zhì)），銅不容...
①擴(kuò)散到氧化區(qū)和有源區(qū)；
②刻蝕困難（干法刻蝕難以形成揮發(fā)性物質(zhì)），銅不容...
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答案：
低k材料用于層間介質(zhì)，因?yàn)榈蚹介質(zhì)減小電容，從而減小RC信號(hào)延遲，提高器件工作頻率。高k介質(zhì)用在替代柵氧化層，提高柵氧厚...
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答案：
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