最簡(jiǎn)單最廉價(jià)但其外延層的質(zhì)量不高
把至少一種外延層組成元素以鹵化物形式通過(guò)襯底并發(fā)生鹵素析出反應(yīng)從而形成外延層的過(guò)程,它屬于氣相外延生長(zhǎng)法。
液態(tài)生長(zhǎng)、氣相外延生長(zhǎng)、金屬有機(jī)物氣相外延生長(zhǎng)、分子束外延生長(zhǎng)。