問答題

【簡答題】什么是非接觸曝光方式？

答案：

掩膜與晶圓不接觸的光刻方式，分為接近式和投影式兩種
題目列表

你可能感興趣的試題

問答題

【簡答題】接觸曝光方式的關(guān)鍵技術(shù)有哪些？它的主要優(yōu)缺點是什么？
答案： 需要一股很粗的光束、一個很大的透鏡，以及一套良好的光學(xué)系統(tǒng)；
精確度較高但非理想接觸導(dǎo)致LSI芯片合格率不高，...
問答題

【簡答題】光刻的曝光方式有幾種？各有何特點？
答案： 接觸和非接觸兩種，非接觸分為接近式和投影式
接觸式：精確度高，但掩膜易磨損，消耗大非接觸式
接近式：...
微信掃碼免費搜題