刻蝕即光刻腐蝕,就是通過光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理,然后通過其他方式實現(xiàn)腐蝕以處理掉所需除去的部分。
抗蝕劑中的小窗口會由于毛細(xì)作用而使得接觸孔不能被有效浸潤、被分解的材料不能被有效從反應(yīng)區(qū)中清除。
濕法刻蝕首先要用含有可以分解表面薄層的反應(yīng)物的溶液浸潤刻蝕面;