因為In原子的晶格常量比Ga原子的大,因此GaInAs與GaAs或AlGaAs層之間存在著晶格不匹配的現(xiàn)象
柵長小于0.3um
把0.35-0.8μm及以下稱為亞微米級0.25um及其以下為深亞微米0.05um及其以下稱為納米級