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【簡答題】光刻工藝分為哪些步驟?
答案:
1、底膜處理
2、涂膠
3、前烘
4、曝光
5、顯影
6、堅膜
7、刻蝕去膠
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【簡答題】從刻蝕工藝上可以將刻蝕分為什么種類?
答案:
干法刻蝕和濕法刻蝕
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【簡答題】化學氣象淀積是什么?
答案:
通過氣態(tài)物質(zhì)的化學反應,wafer表面淀積一層固態(tài)薄膜材料的工藝
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