問答題

【簡(jiǎn)答題】濕法刻蝕和干法刻蝕的區(qū)別?

答案: 濕法刻蝕設(shè)備簡(jiǎn)單、工藝操作方便,一般的常規(guī)生產(chǎn)均能滿足要求,但各向同性刻蝕性太強(qiáng),難以控制線寬,而且刻蝕劑大多為腐蝕性較...
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【簡(jiǎn)答題】常用的CVD哪幾種?說明各自的優(yōu)缺點(diǎn)以及應(yīng)用領(lǐng)域。

答案: (1)常壓化學(xué)氣相淀積,這種工藝所需的系統(tǒng)簡(jiǎn)單,反應(yīng)速度快,并特別適于介質(zhì)淀積,但是它的缺點(diǎn)是均勻性較差,氣體消耗量大,...
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【簡(jiǎn)答題】雙極型集成電路的工藝流程具體有哪些?

答案: 1、襯底制備;
2、生長(zhǎng)埋層(埋層氧化、光刻、摻雜);
3、外延生長(zhǎng);
4、生長(zhǎng)隔離區(qū)(隔...
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