問(wèn)答題

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答案：

有干氧氧化、濕氧氧化、水汽氧化
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答案：

1、作為掩膜，
2、作為芯片的鈣化和保護(hù)膜，
3、作為電隔離膜，
4、作為元器件的組成部分。
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答案：

替代式雜質(zhì)、間隙式雜質(zhì)
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