問答題

【簡答題】IC對金屬材料特性有何要求？

答案： 1、與n＋、p＋硅或多晶硅形成低阻的歐姆接觸（接觸電阻?。?，利于提高電路速度，
2、抗電遷移性能好，長時(shí)間在較...
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【簡答題】何謂氧化增強(qiáng)擴(kuò)散，發(fā)散區(qū)推進(jìn)效應(yīng)？產(chǎn)生機(jī)理是什么？
答案： 在熱氧化過程中原存在硅內(nèi)的某些摻雜原子顯現(xiàn)出更高的擴(kuò)散性，稱為氧化增強(qiáng)擴(kuò)散。機(jī)理：氧化誘生堆垛層錯產(chǎn)生大量自填隙Si，間...
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【簡答題】什么是光敏度，移相掩膜，駐波效應(yīng)？
答案： 光敏度：指單位面積上入射的使光刻膠全部發(fā)生反應(yīng)的最小光能量或最小荷量。
移相掩膜：基本原理是在光掩模的某些透明...
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