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問答題
【簡答題】簡述各種微位移機構和器件的性能、特點及其應用場合。
答案：
1）機械類微位移機構
這類微位移機構主要是利用一些巧妙的機械結構來實現(xiàn)微位移，典型的結構有凸輪、斜面、精密絲杠...
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問答題
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答案：
方法有：反轉法、平移法、兩點法和三點法等。
反轉法簡單方便，由于測量需進行兩次，不能用于實時控制。對于垂直方向...
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