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【簡答題】如果旋涂室內(nèi)溫度升高,濕度不變,OD會(huì)如何變化?
答案:
OD會(huì)隨溫度的升高而升高。
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【簡答題】在調(diào)整旋涂時(shí),請簡單說明如何降低尾部OD?
答案:
增加第三段加速度或降低二段加速度。
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【簡答題】在調(diào)整旋涂時(shí),怎樣提高頭部OD?
答案:
增加一段時(shí)間或提高擺臂速度。
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