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激光干涉儀是以激光穩(wěn)定的波長作基準(zhǔn),利用光波干涉計(jì)數(shù)原理進(jìn)行精密測量。
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提高機(jī)械設(shè)備的有效度可通過降低它的故障率或提高它的修復(fù)率來實(shí)現(xiàn)。
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閉環(huán)進(jìn)給伺服系統(tǒng)的檢測元件是角位移檢測器。
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