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問答題
【簡答題】氧化系統(tǒng)的基本組成結(jié)構(gòu)及每一部分的主要作用。
答案：
工藝腔：提供高溫氧化的加工環(huán)境
硅片傳輸系統(tǒng)：實現(xiàn)硅片在工藝腔中的裝卸和傳輸
氣體分配系統(tǒng)：實現(xiàn)維持...
硅片傳輸系統(tǒng)：實現(xiàn)硅片在工藝腔中的裝卸和傳輸
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問答題
【簡答題】什么是氧化層固定電荷？其產(chǎn)生的主要原因是什么？它對半導(dǎo)體器件的電學(xué)特性有何影響？工藝中可以用什么辦法來解決？
答案：
氧化停止時，所有SiO2層在SiO2-Si的界面附近都有一個薄的正電荷層，它...
問答題
【簡答題】列出Si—SiO2界面處的四種電荷，說明鈉離子是屬于哪一類電荷，以及這一類電荷會導(dǎo)致芯片出現(xiàn)什么問題，工藝中如何解決這一問題？
答案：
四種類型的界面電荷：可動離子電荷：Qm（C/cm2），正電荷，如Na+、K<...
