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微電子器件對加工環(huán)境的空氣潔凈度有著嚴格的要求。我國潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度標準GB50073-2001中,100級的含義是:每立方米空氣中大于等于0.1m的懸浮粒子的最大允許個數(shù)為()
A.35;
B.100;
C.102;
D.237。
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側(cè)墻用來環(huán)繞多晶硅柵,防止更大劑量的源漏注入過于接近溝道以致可能發(fā)生源漏穿通。
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離子注入能夠重復(fù)控制雜質(zhì)的濃度和深度,因而在幾乎所有應(yīng)用中都優(yōu)于擴散。
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