問答題

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答案： 等離子是一種中性，高能量，離子化的氣體，包含中性原子或分子，帶電離子和自由電子。
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【簡答題】什么是外延層，為什么在硅片上使用它？
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問答題

【簡答題】列舉硅片的七種質量要求。
答案： 物理尺寸；平整度；微粗糙度；氧含量；晶體缺陷；顆粒；體電阻率
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