問答題

【簡答題】陳述分辨率公式。影響光刻分辨率的三個參數(shù)？

答案：

R.K*入/NA
1，波長 入
2，數(shù)值孔徑NA
3，工藝因子K
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問答題

【簡答題】什么是數(shù)值孔徑（NA），陳述它的公式，包括近似公式？
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答案： 透鏡壓縮是透鏡材料結(jié)構(gòu)上的重新排列導(dǎo)致透鏡材料增密，壓縮發(fā)生在透鏡材料中，包括熔融石英它可以增加激光束穿過區(qū)域的透鏡材料...
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