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問答題
【簡(jiǎn)答題】當(dāng)分辨率增加時(shí)焦深會(huì)發(fā)生什么變化？
答案：
焦深減小
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問答題
【簡(jiǎn)答題】計(jì)算掃描光刻機(jī)的分辨率，假設(shè)波長(zhǎng)是248nm， NA=0.65， K是0.6。
答案：
0.6*248/0.65=228.9 R=K*入/NA
