問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】列舉離子注入設(shè)備的5個(gè)主要子系統(tǒng)。

答案:

1.離子源
2.引出電極和離子分析器
3.加速管
4.掃描系統(tǒng)
5.工藝室

題目列表

你可能感興趣的試題

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】離子注入的主要缺點(diǎn)是什么?如何克服?

答案: 1、高能雜質(zhì)離子轟擊硅原子將對(duì)晶體結(jié)構(gòu)產(chǎn)生損傷。(高溫退火進(jìn)行修復(fù))。
2、注入設(shè)備的復(fù)雜性。(被注入機(jī)對(duì)劑量...
問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】列舉離子注人優(yōu)于擴(kuò)散的7點(diǎn)。

答案: 1.精確控制雜質(zhì)含量。
2.很好的雜質(zhì)均勻性。
3.對(duì)雜質(zhì)穿透深度有很好的控制。
4.產(chǎn)生...
微信掃碼免費(fèi)搜題