問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】列舉離子注入設(shè)備的5個(gè)主要子系統(tǒng)。

答案：

1.離子源
2.引出電極和離子分析器
3.加速管
4.掃描系統(tǒng)
5.工藝室
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問(wèn)答題

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2、注入設(shè)備的復(fù)雜性。（被注入機(jī)對(duì)劑量...
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2.很好的雜質(zhì)均勻性。
3.對(duì)雜質(zhì)穿透深度有很好的控制。
4.產(chǎn)生...
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