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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述半導(dǎo)體工藝中等離子體最重要的三種碰撞
答案：
離子化碰撞、激發(fā)-松弛碰撞、分解碰撞
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】等離子體工藝在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用
答案：
（1）IC制造中所有圖形化刻蝕均為等離子體刻蝕或干法刻蝕。
（2）應(yīng)用于電介質(zhì)積淀。
（3）離子注入...
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