填空題

負膠適于刻蝕（）（細/粗）線條。

答案：粗

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曝光后顯影時感光的膠層沒有溶解，沒有感光的膠層溶解，這種膠為（）（正/負）膠。

答案：負

在LPCVD中，由于hG>>kS，即質(zhì)量轉(zhuǎn)移系數(shù)遠大于表面反應(yīng)速率常數(shù)，所以，LPCVD系統(tǒng)中，淀積過程主要是表面反應(yīng)速率控制

答案：正確

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