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當(dāng)掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移到下方薄膜材料上時,必須要考慮到光刻膠的性質(zhì)(正膠還是負(fù)膠)。
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判斷題
如果掩模版上絕大多數(shù)部分是不透光的區(qū)域,只有很少一部分透光,這種掩模版稱為亮場掩模版。
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判斷題
掩模版一般是在石英玻璃涂抹上一定形狀的鉻等材料,形成明暗相間的圖形。
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