問答題

【簡答題】半導體工藝中常用的薄膜形成工藝有哪些?并舉例說明它們可分別用于哪些材料的淀積(每種工藝只列一種材料)

答案: 氧化(Oxidation):氧化硅(柵氧);淀積 (Deposition)
化學氣相淀積(CVD):...
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【簡答題】列出硅片制造廠的6個主要生產區(qū),簡要說明各區(qū)的主要作用,并舉例至少一種各區(qū)的典型設備。

答案: 芯片制造廠可分成六個獨立的生產區(qū):擴散、光刻、刻蝕、薄膜生長、離子注入和拋光。
擴散區(qū):通常是進行高溫工藝和薄...
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