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【簡答題】簡述離子加工有何特點?
答案:
(1)易于精確控制。離子束可以通過離子光學系統(tǒng)進行聚焦掃描,共聚焦光斑可達1um以內(nèi),因而可以精確控制尺寸范圍。由于離子...
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