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空氣潔凈度的定義是空氣中含塵埃量多少的大小。
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離子束加工時(shí)在真空條件下,將氬、氪、氙燈惰性氣體通過離子源產(chǎn)生離子束,經(jīng)加速、集束、聚焦后,射到被加工表面上以實(shí)現(xiàn)各種加工的方法。
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由于離子的質(zhì)量遠(yuǎn)大于電子,故離子束加工的生產(chǎn)率比電子束高,但表面粗糙度稍差。
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