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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述外延的分類？

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【簡(jiǎn)答題】什么叫做外延？外延有哪些特點(diǎn)？
答案： ①定義：在單晶襯底上新生一層單晶膜的技術(shù)。
以氣相外延為例，則是含外延層材料的物質(zhì)以氣相形式流向襯底，在高溫下...
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【簡(jiǎn)答題】增層工藝主要包括哪些方式？
答案： 實(shí)現(xiàn)方式分：生長(zhǎng)法（氧化工藝、氮化硅工藝）和淀積法（CVD、蒸發(fā)工藝、濺射工藝）
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