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【簡(jiǎn)答題】Defect的種類依掉落位置區(qū)分可分為哪些?
答案:
① Random defect : defect分布很散亂
②&ens...
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答案:
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【簡(jiǎn)答題】何謂Defect?
答案:
Wafer上存在的有形污染與不完美,包括
① Wafer上的物理性異物(如:微塵,工藝殘留物,不正常...
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