問答題

【簡答題】什么樣的光刻設(shè)備對(duì)應(yīng)的過程是怎樣的？

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問答題

【簡答題】簡述正性光刻和負(fù)性光刻的概念？優(yōu)缺點(diǎn)？
答案： •正性光刻是把與掩膜版上相同的圖形復(fù)制到晶圓上。
•負(fù)性光刻是把與掩膜版上圖形相反的圖形復(fù)...
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