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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么叫硅的熱氧化？有哪幾種熱氧化技術(shù)？
答案：
硅的熱氧化法是指硅與氧或水汽，在高溫下經(jīng)化學(xué)反應(yīng)生成SiO2。根據(jù)氧化劑的不同，熱氧化可分為干氧氧...
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