問答題

【簡答題】試對比分析擴散工藝和離子注入工藝的特征和特點。

答案： 擴散是高溫工藝，需要SiO2這樣的耐高溫硬掩膜，其擴散形成的結(jié)深較深。擴散是各向同性的，因此有較大...
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問答題

【簡答題】請闡述擴散的局限性。
答案： 與離子注入工藝相比，擴散工藝的局限性在于：
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