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【計(jì)算題】差動(dòng)式變極距型電容傳感器,若初始容量C
1
=C
2
=80pF,初始距離δ
0
=4mm,當(dāng)動(dòng)極板相對(duì)于定極板位移了Δδ=0.75mm時(shí),試計(jì)算其非線性誤差。若改為單極平板電容,初始值不變,其非線性誤差有多大?
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