問答題

【簡(jiǎn)答題】GaAs相對(duì)Si的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)是什么？

答案： 優(yōu)點(diǎn)：
A.比硅更高的電子遷移率，高頻微波信號(hào)響應(yīng)好——無線和高速數(shù)字通信
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述微芯片技術(shù)發(fā)展的主要趨勢(shì)
答案： 提高芯片性能（速度、功耗）、提高芯片可靠性（低失效）、降低芯片成本（減小特征尺寸，增加硅片面積，制造規(guī)模）
問答題

【簡(jiǎn)答題】什么是關(guān)鍵尺寸（CD）？
答案： 芯片上的物理尺寸特征稱為特征尺寸，特別是硅片上的最小特征尺寸，也稱為關(guān)鍵尺寸或CD
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