名詞解釋

OED/ORD

答案： 氧化增強(qiáng)擴(kuò)散（OED）機(jī)理—存在替位-間隙交替的雙擴(kuò)散；
氧化抑制擴(kuò)散（ORD）機(jī)理—...
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名詞解釋

薄層電阻
答案：

結(jié)深為xj，長寬相等的一個(gè)擴(kuò)散薄層的電阻（設(shè)平均電阻率為），就是該擴(kuò)散層的方塊電阻（或薄層電阻）。
問答題

【簡答題】試說明橫向擴(kuò)散以及橫向擴(kuò)散的主要影響。
答案： 實(shí)際擴(kuò)散過程中，雜質(zhì)除了進(jìn)行垂直于晶片表面進(jìn)行擴(kuò)散外，還有平行于表面的橫向擴(kuò)散。
橫向擴(kuò)散效應(yīng)：使擴(kuò)散區(qū)之間的...
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