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【簡答題】簡述離子注入原理
答案:
離子注入是將被摻雜的雜質(zhì)原子或分子進(jìn)行離子化,經(jīng)磁場選擇和電場加速到一定的能量,形成一定電流密度的離子束流后被直接打進(jìn)(...
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【簡答題】簡述熱擴(kuò)散所需經(jīng)歷的步驟
答案:
•建立濃度差
•雜質(zhì)擴(kuò)散至合適的結(jié)深
•雜質(zhì)與硅原子成鍵
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【簡答題】簡述擴(kuò)散原理及滿足條件
答案:
擴(kuò)散是物質(zhì)的一個基本性質(zhì),原子、分子和離子都會從高濃度向低濃度處進(jìn)行擴(kuò)散運(yùn)動。
擴(kuò)散運(yùn)動需滿足兩個基本條件:<...
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