問答題

【簡答題】使用CVD法成長鉆石薄膜,氫元素和碳元素的濃度有何重要性?

答案:CVD生長鉆石膜的瓶頸乃在避免碳?xì)浠镄纬墒?,因此氫原子?yīng)比碳源多很多。碳源濃度決定了鉆石膜的生長速率,但碳源太高時氫...
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