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【簡(jiǎn)答題】什么是多層金屬化?它對(duì)芯片加工來說為什么是必需的?
答案:
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【簡(jiǎn)答題】例舉并描述薄膜生長(zhǎng)的三個(gè)階段。
答案:
(1)晶核形成
分離的小膜層形成于襯底表面,是薄膜進(jìn)一步生長(zhǎng)的基礎(chǔ)。
(2)凝聚成束
形成...
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【簡(jiǎn)答題】什么是薄膜?
答案:
薄膜:指某一維尺寸遠(yuǎn)小于另外兩維上的尺寸的固體物質(zhì)。
好的臺(tái)階覆蓋能力 、高的深寬比填隙能力(>3:...
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