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【簡答題】CVD化學氣相沉積法反應步驟可區(qū)分為幾個步驟?
答案:
(1)不同成份氣相前置反應物由主流氣體進來,以擴散機制傳輸基板表面。理想狀況下,前置物在基板上的濃度是零,亦即在基板上立...
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