多項選擇題

隔膜計量泵的吸液過程包括（）。

A.膜片向后撓曲變形，介質腔的容積增大
B.柱塞后移時，介質腔產生負壓
C.膜片向前撓曲變形，介質腔的容積減小，出口單向閥打開，介質流出
D.柱塞到達后止點時，吸液結束
E.出口單向閥關閉，進口單向閥打開，介質進入泵頭

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