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進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。
A.銅
B.鋁
C.鎢
D.金
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化學(xué)機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）
A.還原劑
B.分散劑
C.腐蝕介質(zhì)
D.磨料
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CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。
A.臺板
B.拋光液
C.拋光墊
D.夾持設(shè)備
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