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化學合成反應沉積是由兩種或兩種以上的反應原料氣在沉積反應器中相互作用合成得到所需要的無機薄膜或其它材料形式的方法。
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低壓下從石墨轉變成金剛石是一個典型的反自發(fā)方向進行的反應,它依靠自發(fā)的氫原子耦合反應的推動來實現。
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化學氣相沉積乃是通過化學反應的方式,利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源,在反應器內使氣態(tài)的化學物質在氣相或氣固界面上經化學反應形成固態(tài)沉積物的技術。
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