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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】試說(shuō)明氧化生長(zhǎng)速率的基本定義及其物理含義，并說(shuō)明影響氧化生長(zhǎng)速率的主要工藝參數(shù)，及他們對(duì)生長(zhǎng)速率的主要影響。
答案：
氧化生長(zhǎng)速率是用于描述氧化物在硅片上生長(zhǎng)的快慢。當(dāng)氧化劑的量足夠時(shí)，SiO2生長(zhǎng)的快慢最終由氧化劑...
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答案：
F：number/（cm2-s）
C：number/cm3
F：number/（cm2-s）
C：number/cm3
問(wèn)答題
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答案：
Deal-Grove氧化模型（線性－拋物線模型 linear-parabolic model），是可...
