(1)檢查大小mask是否有發(fā)黑、短路的地方,如有,更換mask; (2)清理靶材邊緣,清理濺鍍倉(cāng)。
(1)盤(pán)片吸真空不好; (2)電機(jī)不轉(zhuǎn),沒(méi)電或壞; (3)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器故障。