填空題

濕法腐蝕Si所用溶液有（）、（）等，腐蝕SiO2常用的腐蝕劑是（），腐蝕Si3N4常用的腐蝕劑是（）。

答案： 硝酸-氫氟酸-醋酸（或水）混合液；KOH溶液；HF溶液；磷酸
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