問答題

【簡答題】簡述離子注入效應(yīng)。

答案: 溝道效應(yīng):當(dāng)注入離子未與硅原子碰撞減速,而是穿透了晶格間隙時(shí)就發(fā)生了溝道效應(yīng)。
控制溝道效應(yīng)的方法:①傾斜硅片...
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問答題

【簡答題】簡述離子注入工藝相對(duì)于熱擴(kuò)散工藝的優(yōu)缺點(diǎn)。

答案: 優(yōu)點(diǎn):①精確地控制摻雜濃度和摻雜深度;
②可以獲得任意的雜質(zhì)濃度分布;
③雜質(zhì)濃度均勻性、重復(fù)性好;...
名詞解釋

結(jié)深

答案: 雜質(zhì)擴(kuò)散濃度分布曲線與襯底摻雜濃度曲線交點(diǎn)的位置稱為結(jié)深。
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