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問答題
【簡答題】簡述離子注入效應(yīng)。
答案：
溝道效應(yīng)：當(dāng)注入離子未與硅原子碰撞減速，而是穿透了晶格間隙時(shí)就發(fā)生了溝道效應(yīng)。
控制溝道效應(yīng)的方法：①傾斜硅片...
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問答題
【簡答題】簡述離子注入工藝相對(duì)于熱擴(kuò)散工藝的優(yōu)缺點(diǎn)。
答案：
優(yōu)點(diǎn)：①精確地控制摻雜濃度和摻雜深度；
②可以獲得任意的雜質(zhì)濃度分布；
③雜質(zhì)濃度均勻性、重復(fù)性好；...
②可以獲得任意的雜質(zhì)濃度分布；
③雜質(zhì)濃度均勻性、重復(fù)性好；...
