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【簡(jiǎn)答題】刻蝕有哪些參數(shù)?
答案:
①刻蝕速率;
②刻蝕偏差;
③選擇比;
④均勻性;
⑤刻蝕剖面。
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②好的CD控制;
③最小的光刻膠脫落或粘附問(wèn)題;<...
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答案:
把硅片置于氣態(tài)產(chǎn)生的等離子體,等離子體中的帶正電離子物理轟擊硅片表面,等離子體中的反應(yīng)粒子與硅片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而去...
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